RU / EN

Выпуск №2, 2000 г.

СОДЕРЖАНИЕ

Четвертый Всероссийский семинар "Проблемы теоретической и прикладной электронной оптики".
Авторы: Филачев А. М.
5
Электронная и ионная оптика и электронно- и ионно-лучевое оборудование в Государственном институте электронной и ионной оптики (к 25-летию)
Авторы: Васичев Б. Н., Филачев А. М.
7
Конструктивные особенности комплекса оборудования для прецизионной электронной микролитографии.
Авторы: Васичев Б. Н.
26
Установка для межоперационного контроля полупроводниковых структур микрофотоэлектроники на работоспособность и анализа на отказ в технологическом процессе их производства.
Авторы: Васичев Б. Н., Дицман С. А., Бочаров Е. П., Савуков В. Т.
47
Установка для межоперационного контроля за качеством поверхности подложек и тонких пленок микроструктур изделий микроэлектроники в технологическом процессе.
Авторы: Васичев Б. Н., Чернова-Столярова Е. Е., Розенфельд Л. Б.
58
Управление пространственной информацией электронно-лучевых волновых полей в электронно-лучевых вычислителях и электронных микроскопах
Авторы: Васичев Б. Н.
67
Разработка программного обеспечения для математического моделирования электронных пушек с катодами произвольной формы.
Авторы: Андреев С. В., Монастырский М. А., Тарасов В. А., Муравьев А. Г.
77
Новый класс мощных электронных приборов - электронно-лучевые вентили.
Авторы: Переводчиков В. И., Шапенко В. Н., Мартынов В. Ф.. Стальков П. М., Шапиро А. Л.
86
Эффекты пространственного заряда в интенсивных электронных пучках в методе электронного охлаждения.
Авторы: Коротаев Ю. В., Мешков И. Н., Петров А. Л., Сидорин А. О., Смирнов А. В., Сыресин Е. М.
95
СПД-фокусирующая плазменная система с поверхностно-доминантным разрядом.
Авторы: Морозов А. И., Балебанов В. М., Бугрова А. И., Липатов А. С., Харчевников В. К.
106
Ионный распылитель со встречно-расположенными мишенями.
Авторы: Еремин А. П., Смольянинов В. Д., Филачев А. М.
118
Проблемы электронно-оптических систем для перспективных пучково-плазменных приборов СВЧ.
Авторы: Завъялов М. А., Переводчиков В. И., Сыровой В. А.
122
Специфика технологии микроэлектромеханических устройств.
Авторы: Пятышев Е. Н., Лурье М. С., Попова И. В., Казакин А. Н.
133
Электронно-оптическая система источника многозарядных ионов MIS-1.
Авторы: Абдульманов В. Г., Короткова В. Л., Масленников О. Ю., Невский П. В., Рыбачек В. П., Федяев В. К.
138
Электронно-лучевой источник многозарядных ионов ИМИ-2.
Авторы: Абдульманов В. Г., Дементьев Е. Н., Мигинская Е. Г., Мироненко Л. А., Пирогов О. В., Томилов В. П., Цуканов В. М.
144
О пространственно-временной аберрации и ее возможных применениях в корпускулярной оптике.
Авторы: Матышев А. А.
149
Изотраекторная динамика как новая область корпускулярной оптики.
Авторы: Матышев А. А.
155
Об изотраекторном поперечном дифференциальном инварианте.
Авторы: Матышев А. А.
161
Опыт компьютерного проектирования электронно-оптической системы электронно-оптического преобразователя с магнитной фокусировкой изображения.
Авторы: Куликов Ю. В., Прянишников И. Г., Тарасов В. А.
165
Численное моделирование технологического процесса нанесения тонких пленок в газоразрядных электронно-лучевых испарителях.
Авторы: Мельник В. И., Мельник И. В., Порицкий П. В.
168
Исследование оптики электродных систем высоковольтного тлеющего разряда с использованием метода компьютерного анализа изображений.
Авторы: Мельник В. И., Мельник И. В.
173