Влияние режимов синтеза на характеристики микрорезонаторов германия-кремния на толстом оксидном слое кремния
Авторы: Кукенов О., Дирко В. В., Лозовой К. А., Майер К., Ворсин О., Смородин К., Катренко В., Шабанов Г., Коротаев А. Г., Коханенко А. П.
13