Статья: Пространственное распределение потоков нейтралов перезарядки в установке для молекулярно-пучковой эпитаксии CERA-VN

О. А. Бабич, А. А. Балмашнов
Российский университет дружбы народов, Москва, Россия
Е-mail: abalmashnov@mx.pfu.edu.ru

Дано краткое описание микроволнового источника потока нейтральных частиц CERA-VN. На основе полученных результатов сделан вывод о влиянии упругих столкновений в камере перезарядки на интенсивность и пространственную расходимость формируемого потока.