В. И. Волосов, А. Г. Стешов, И. Н. Чуркин
Институт ядерной физики им. Г. И. Будкера СО РАН, Новосибирск, Россия
Представлены результаты исследований по улучшению адгезии тонких металлических пленок с помощью источника с регулируемым полиэнергетическим атомарным потоком. Приведены результаты обработки образцов атомарными потоками с различными параметрами.