В. Н. Вигдорович
Институт химических проблем микроэлектроники (ИХПМ), Москва, Россия
М. А. Каримбеков
Московский энергетический институт (Технический университет), Россия
Развита концепция термоэлектрического эффекта в наклонно-конденсированных пленочных поликристаллических материалах, получаемых вакуумно-термическим испарением и конденсацией на изолирующих теплопроводных подложках. Предложены модели для анализа особенностей термо-ЭДС в анизотропных средах, оценки чувствительности к непрерывному излучению, определения формы выходного сигнала и роли гребенчатости поверхности пленки при действии короткоимпульсного излучения. Приведены основные параметры созданных и исследованных пленочных наклонно-текстурированных термоэлектрических преобразователей различного типа: с “пятачковым” (круглым), “меандровым” и “спиральным” приемно-преобразующим элементами. Наклонное текстурирование микроструктуры пленочных материалов приемно-преобразующих элементов (ось текстуры выполняет роль аналога главной кристаллографической оси монокристалла анизотропного материала) позволяло усилить естественную анизотропию и создать искусственную “анизотропию” термо-ЭДС, что расширило возможности выбора исходных материалов, включая высокотемпературные изотропные материалы для увеличения лучевой прочности. Обращено внимание на то, что совершенствование измерительных термоэлектрических преобразовательных устройств сопровождается не привлечением новых материалов, а переходом на материалы более сложного состава и/или более сложные технологии, а наоборот, — возвращением к известным, более простым материалам как по их составу, так и по технологии их применения.