В.Н. Вигдорович
Институт химических проблем микроэлектроники, г. Москва
М.А. Каримбеков
Московский энергетический институт (технический университет), Москва
Рассмотрены приёмы легирования плёночных материалов и структур, дополнившие классические рекомендации повышения эффективности термоэлектрических материалов в массивном виде и применённые к термоэлектрическим материалам в пленочном виде: примесное, полевое и контактное легирование, а также контактное модифицирование поверхности плёнок и декорирование поверхности плёнок конденсацией на них металлов.