Статья: Локальные методы диагностики и оборудование для контроля за технологическими процессами изготовления приборов ИК-техники

Б. Н. Васичев
Московский государственный институт электроники и математики (Технический университет), Москва, Россия

А. М. Филачев, В. П. Пономаренко, Г. И. Фатьянова
Федеральное государственное унитарное предприятие «НПО “Орион”» — ГНЦ РФ, Москва, Россия

Рассмотрены основные методы анализа на отказ и работоспособность полупроводниковых ИК-структур и электронно-лучевое оборудование, адаптированное для работы в технологических линиях.