А. А. Жуков, Ю. С. Четверов
ОАО «ЦНИИ “Циклон”», Москва, Россия
И. Ю. Коровина
МАТИ (РГТУ) им. К. Э. Циолковского, Москва, Россия
Г. А. Корнеева
ИНХС им. А. В. Топчиева РАН, Москва, Россия
Методами ИК-спектроскопии и смачивания двумя жидкостями исследованы структуры и свойства тонких полиимидных пленок и покрытий после плазменной и жидкостной обработок, используемых в качестве “жертвенных” слоев в технологии неохлаждаемых микроболометров на основе нитрида кремния. Показано, что для получения нитридных микромостиковых структур с удовлетворительным качеством предпочтительной является обработка полиимидных покрытий в плазме.