А. В. Визирь, Е. М. Окс, М. В. Шандриков, Г. Ю. Юшков
Институт сильноточной электроники СО РАН, г. Томск, Россия
Представлены результаты исследований сильноточного газового разряда низкого давления с электронным эмиттером на основе дугового контрагированного разряда. Рассмотрены физические особенности процесса генерации плазмы в такой системе. Особенности конструкции электронного эмиттера обеспечивают длительный срок службы за счет уменьшения скорости эрозии дугового катода, а также уменьшают загрязнение газовой плазмы ионами и атомами металла. Напряжение горения в непрерывном режиме функционирования разряда составляет 50—150 В при токе разряда до 20 А. Показано, что при одновременной работе трех таких идентичных разрядных систем обеспечивается генерация однородной и стабильной газовой плазмы с концентрацией до 1011 см-3 в объеме 1 м3 при давлении в вакуумной камере уровня 10-3 Торр. Разрядная система отличается высокой энергетической эффективностью, однородностью концентрации генерируемой плазмы, возможностью работы с химически активными газами, простотой в настройке и обслуживании, большим сроком службы.