Ю. Р. Винецкий, А. Г. Титов, В. И. Фамицкий, П. Е. Хакуашев
ГНЦ «НПО “Орион”», Москва, Россия
В разрабатываемом методе детального картирования распределений кислорода в кремнии применение стандартных методов измерений, основанных на квазинепрерывном ряде спектральных отсчетов, приводит к нереалистичной длительности измерений. Рассмотрены альтернативные методы, основанные на ограниченном числе отсчетов, и условия, необходимые для их применения. При соблюдении последних одноволновой метод демонстрирует приемлемую воспроизводимость и точность измерений.