В. М. Проскурин, Н. В. Смирнов
ФГУП «НПО “Орион”», Москва, Россия
А. В. Первеев
ЗАО “Акварос”, Москва, Россия
Рассмотрена схема электродиализной очистки технических стоков в процессе производства микрофотоэлектроники. Проведен анализ технико-экономических параметров данной системы очистки.