Н.Г. Белова
Физико-технологический институт РАН, Москва, Россия
В.А. Федирко
Московский государственный технологический университет “Станкин”,
Москва, Россия
Представлена физико-математическая модель электронного переноса в цилиндрических многоэлектродных структурах субмикронных размеров. Методом частиц выполнено прямое моделирование динамики электронного пучка в осесимметричной микроячейке. Продемонстрирована эффективность использования разработанной методики для оптимизации управления пучком электронов в структуре. Исследована зависимость статических и динамических характеристик микроячейки от величины коэффициента вторичной эмиссии электронов и внешнего магнитного поля. Показана возможность использования микровакуумной ячейки в качестве магниточувствительных датчиков.