В.А. Лисовский., Е.В. Мышко
Харьковский национальный университет, Харьков, Украина
С.Д. Яковин
НФТЦ НАН и МО Украины, Харьков, Украина
Исследованы внутренние параметры и режимы горения высокочастотного емкостного разряда, используемого при обработке полупроводниковых материалов и для накачки газовых лазеров.